Ang mga sensor sa presyur sa semiconductor mahimong bahinon sa duha ka mga kategorya, ang usa gibase sa prinsipyo nga ang I-υ nga mga kinaiya sa semiconductor PN junction (o schottky junction) nagbag-o sa ilawom sa stress.Ang pasundayag sa kini nga elemento nga sensitibo sa presyur dili kaayo lig-on ug wala pa kaayo naugmad.Ang lain mao ang sensor base sa semiconductor piezoresistive nga epekto, nga mao ang nag-unang lain-laing mga semiconductor pressure sensor.Sa unang mga adlaw, ang semiconductor strain gauges kasagaran gilakip sa pagkamaunat-unat nga mga elemento sa paghimo sa lain-laing mga stress ug strain pagsukod instrumento.Sa 1960s, uban sa pag-uswag sa semiconductor integrated circuit nga teknolohiya, usa ka semiconductor pressure sensor nga adunay diffusion resistor isip piezoresistive nga elemento nagpakita.Kini nga matang sa pressure sensor adunay yano ug kasaligan nga istruktura, walay paryente nga naglihok nga mga bahin, ug ang presyur nga sensitibo nga elemento ug pagkamaunat-unat nga elemento sa sensor gisagol, nga naglikay sa mekanikal nga lag ug nagkamang ug nagpalambo sa performance sa sensor.

Ang piezoresistive nga epekto sa semiconductor Semiconductor adunay usa ka kinaiya nga may kalabutan sa eksternal nga pwersa, nga mao, ang resistivity (girepresentahan sa simbolo ρ) mausab uban sa stress nga dala niini, nga gitawag nga piezoresistive nga epekto.Ang relatibong pagbag-o sa resistivity ubos sa aksyon sa stress sa yunit gitawag nga piezoresistive coefficient, nga gipahayag sa simbolo π.Gipahayag sa matematika nga ρ/ρ = π σ.

Diin ang σ nagrepresentar sa stress.Ang pagbag-o sa kantidad sa resistensya (R / R) nga gipahinabo sa pagsukol sa semiconductor sa ilawom sa tensiyon labi nga gitino sa pagbag-o sa resistivity, busa ang ekspresyon sa piezoresistive nga epekto mahimo usab nga isulat ingon R / R = πσ.

Ubos sa aksyon sa gawas nga puwersa, ang pipila ka stress (σ) ug strain (ε) namugna sa semiconductor kristal, ug ang relasyon tali kanila gitino pinaagi sa Young modulus (Y) sa materyal, nga mao, Y = σ / ε.

Kung ang piezoresistive nga epekto gipahayag sa strain sa semiconductor, kini mao ang R/R=Gε.

Ang G gitawag nga sensitivity factor sa pressure sensor, nga nagrepresentar sa relatibong pagbag-o sa resistensya nga kantidad ubos sa unit strain.

Ang piezoresistive coefficient o sensitivity factor mao ang batakang pisikal nga parameter sa semiconductor piezoresistive nga epekto.Ang relasyon tali kanila, sama sa relasyon tali sa stress ug strain, gitino sa modulus sa Young sa materyal, nga mao, g = π y.

Tungod sa anisotropy sa mga semiconductor nga mga kristal sa pagkamaunat-unat, ang modulus ni Young ug piezoresistive coefficient nausab sa kristal nga oryentasyon.Ang kadako sa semiconductor piezoresistive nga epekto suod usab nga may kalabotan sa resistivity sa semiconductor.Kon mas ubos ang resistivity, mas gamay ang sensitivity factor.Ang piezoresistive nga epekto sa pagsabwag sa pagsukol gitino sa kristal nga orientasyon ug kahugawan nga konsentrasyon sa pagsabwag sa pagsabwag.Ang konsentrasyon sa kahugawan nag-una nga nagtumong sa konsentrasyon sa kahugawan sa ibabaw sa layer sa pagsabwag.