Ang kasagarang gigamit nga semiconductor pressure sensor naggamit sa N-type nga silicon wafer isip substrate.Una, ang silicon wafer gihimo nga usa ka pagkamaunat-unat nga bahin nga nagdala sa stress nga adunay usa ka piho nga geometry.Sa stress-bearing nga bahin sa silicon wafer, upat ka P-type diffusion resistors ang gihimo ubay sa lain-laing kristal nga direksyon, ug unya usa ka upat ka bukton nga Wheatstone bridge ang naporma uban niining upat ka resistors.Ubos sa aksyon sa gawas nga pwersa, ang mga pagbag-o sa mga kantidad sa pagsukol mahimong mga signal sa kuryente.Kini nga wheatstone nga tulay nga adunay epekto sa presyur mao ang kasingkasing sa pressure sensor, nga sagad gitawag nga piezoresistive bridge (sama sa gipakita sa Figure 1).Ang mga kinaiya sa piezoresistive bridge mao ang mosunod: ① ang resistensya sa upat ka bukton sa tulay managsama (tanan r0);② Ang piezoresistive nga epekto sa kasikbit nga mga bukton sa tulay parehas sa kantidad ug kaatbang sa timaan;③ Ang koepisyent sa temperatura sa pagsukol sa upat ka bukton sa tulay parehas, ug kini kanunay nga parehas nga temperatura.Sa fig.1, R0 mao ang resistensya nga kantidad nga walay stress sa temperatura sa lawak;Ang RT mao ang pagbag-o nga gipahinabo sa temperatura nga coefficient sa resistensya (α) kung ang temperatura mausab;Ang Υ Rδ mao ang pagbag-o sa resistensya tungod sa strain (ε);Ang output boltahe sa tulay mao ang u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (kanunay nga kasamtangan nga tinubdan tulay).

Diin ang I0 mao ang kanunay nga kasamtangan nga tinubdan sa kasamtangan ug ang e mao ang kanunay nga boltahe tinubdan boltahe.Ang output nga boltahe sa piezoresistive bridge direkta nga proporsyonal sa strain (ε) ug walay kalabotan sa RT tungod sa temperatura nga coefficient sa pagsukol, nga makapamenos pag-ayo sa temperatura nga drift sa sensor.Ang labing kaylap nga gigamit nga semiconductor pressure sensor mao ang usa ka sensor alang sa pag-ila sa presyur sa fluid.Ang panguna nga istruktura niini usa ka kapsula nga hinimo sa monocrystalline silicon (sama sa gipakita sa Figure 2).Ang diaphragm gihimo nga usa ka tasa, ug ang ilawom sa tasa mao ang bahin nga nagdala sa gawas nga puwersa, ug ang taytayan sa presyur gihimo sa ilawom sa tasa.Ang singsing nga pedestal gihimo sa parehas nga silicon nga usa ka kristal nga materyal, ug dayon ang diaphragm gibugkos sa pedestal.Kini nga matang sa pressure sensor adunay mga bentaha sa taas nga pagkasensitibo, gamay nga gidaghanon ug kalig-on, ug kaylap nga gigamit sa aviation, space navigation, automation instruments ug medikal nga mga instrumento.